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稀有气体卤化物准分子激光器工作气体实时补给技术
为延长稀有气体卤化物准分子激光器工作气体使用寿命, 在原有供气设备基础上增加了工作气体实时补给技术.该技术采用FPGA控制系统......
期刊
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自动控制技术
实时补给
卤化物准分子激光器
工作气体
能量稳定性
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Laser technology
Automatic control te
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